Number of the records: 1
Annulární clona pro SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0536585 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Annulární clona pro SEM Title Annular aperture for SEM Author(s) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Seďa, B. (CZ)
Vašina, R. (CZ)Number of authors 5 Year of issue 2020 Int.Code APL-2020-08 Technical parameters Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč License fee fee Z - Poskytovatel licence nepožaduje v některých případech licenční poplatek Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., APL-2020-08 Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords scanning electron microscope ; diffraction ; resolution ; annular aperture Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering OECD category Electrical and electronic engineering R&D Projects TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Anulární clona, kterou lze vložit do mikroskopu místo standardní apertury. Anulární clona poskytuje profil svazku, který má ostřejší centrální maximum, ale více proudu je v bočních maximech proudového profilu svazku. Obraz vytvořený tímto svazkem umožňuje zobrazení jemnějších detailu, ale na druhou stranu se zhoršuje efekt šumu. Nedílnou součástí funkčního vzorku je algoritmus, který zmenšuje šum ve výsledných obrázcích založený na metodách strojového učení. Description in English Annular aperture which can be placed into the microscopy instead of the current limiting apertures. The annular illumination provides sharp central peak, but higher fraction of the current is in outer tails of the current beam density profile. The image obtained by this type of beam provides imaging more details of the sample, by the noise effect increases. The denoising algorithm based on the machine learning approach is part of the functional sample. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2021
Number of the records: 1