Number of the records: 1
Technologie pro přípravu fázových destiček
- 1.
SYSNO ASEP 0508977 Document Type O - Others R&D Document Type Others Title Technologie pro přípravu fázových destiček Title Phase Plates Preparation Technologies Author(s) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Sháněl, O. (CZ)
Schneider, M. (CZ)Number of authors 4 Year of issue 2019 Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords e–beam lithography ; electron microscopy ; phase plates ; membranes Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering OECD category Nano-processes (applications on nano-scale) R&D Projects TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Studie popisuje primární požadavky na přípravu specifických fázových destiček a zhodnocení potřebných a dostupných technologií pro jejich přípravu. Dále obsahuje případové studie z hlediska funkčních vlastností, typu struktur a výrobních technologií. V závěru jsou specifikovány parametry vzorků zamýšlených k realizaci v rámci projektu. Studie je doplněna o souhrn aktuálních publikací, ze kterých řešitelský tým vychází. Description in English Study describes primal requirements for preparation of special phase plates and necessary and available production technologies evaluation. It also includes case studies according to functional features, structure types and production technologies. At the end, sample parameters chosen for realization during project are specified. Study is completed by set of recent publications, as an initial point of research team work. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2020
Number of the records: 1