Number of the records: 1

Úprava držáku pro galvanické pokovování mikroelektromechanických systémů.

SYSNO ASEP	0499076
Document Type	L - Prototype, Functional Specimen
R&D Document Type	Prototype, Functional Specimen
RIV Subspecies	Functional Specimen
Title	Úprava držáku pro galvanické pokovování mikroelektromechanických systémů.
Title	Modification of holder for electroplating of microelectromechanical systems.
Author(s)	Maňka, Tadeáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Šerý, Mojmír (UPT-D)_{RID, SAI}
Number of authors	2
Year of issue	2018
Int.Code	APL-2018-15
Technical parameters	Funkční vzorek je určen pro galvanické pokovování vodivých vzorků s rozměry 36x36 mm. Většina komponent je vyrobena z ABS plastu na 3D tiskárně. Aparatura je vybavena držákem substrátu sloužícím pro pokovení pouze jedné strany vzorku. Pro připojení elektrického napětí slouží soustava čtyř pružin, které přitlačují vzorek k elektrodě a zajištují tím elektrický kontakt.
Economic parameters	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Tadeáš Maňka, manka@isibrno.cz
Owner Name	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Registration Number of the result owner	68081731
Applied result category by the cost of its creation	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
License fee fee	N - Poskytovatel licence nepožaduje licenční poplatek
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	APL-2018-15
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	electroplating holder ; electroplating of silicon wafers
Subject RIV	JR - Other Machinery
OECD category	Mechanical engineering
R&D Projects	LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS)
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Annotation	Zařízení je určeno pro galvanické pokovování vodivých substrátů. Vzorek se vloží do držáku a ponoří se do chemické lázně, kde je pokoven na požadovanou tloušťku.
Description in English	The device is designed for electroplating of conductive substrates. The sample is placed in the holder and immersed in a chemical bath where it is deposited to the desired thickness.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2019

Number of the records: 1