Number of the records: 1
Příprava TFE W(100) ZrO katod
- 1.
SYSNO ASEP 0480747 Document Type Z - Pilot plant, Verified Technology, Plant Breed/Variety R&D Document Type Pilot Plant, Verified Technology, Plant Breed/Variety RIV Subspecies Ověřená technologie Title Příprava TFE W(100) ZrO katod Title TFE W(100) ZrO emitter preparation Author(s) Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Matějka, F. (CZ)
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAINumber of authors 8 Year of issue 2017 Int.Code APL-2017-3 Technical parameters Katody se připravují z W(100) monokrystalu. Standardní svítivost katody je 0,5 mA/sr. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší a vysokovakuovou aparaturu Economic parameters Ověřená technologie vznikla při řešení grantů. Ověřenou technologii využívá příjemce jednak při zajištění provozu aparatury elektronového litografu TESLA BS600 využívaného pro řešení řady projektů, a jednak v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Possible third party use of the result A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., APL-2017-3 Licence fee A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords elektronová litografie ; katoda ; emitér ; termo auto emise ; W(100) Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering OECD category Electrical and electronic engineering R&D Projects LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) TE01020118 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) TE01020233 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) FR-TI1/576 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Technologie pro přípravu TFE W(100) ZrO katod zahrnuje pět technologických operací: (a) dělení monokrystalu W(100), sestavení držáku, vlásenky a monokrystalu, (b) žíhání katody, (c) anodické leptání katody, (d) nanesení zirkonia, (e) aktivace katody, (f) zahoření katody. Každá technologická operace se skládá z řady technologických kroků. Description in English Technology for the TFE W(100) emitter preparation includes five technological operations: (a) single crystal partition, package, heating filament and single crystal arrangement, (b) emitter annealing (c) anodic etching of the emitter, (d) zirconium application, (e) emitter. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2018
Number of the records: 1