Number of the records: 1

Příprava TFE W(100) ZrO katod

SYSNO ASEP	0480747
Document Type	Z - Pilot plant, Verified Technology, Plant Breed/Variety
R&D Document Type	Pilot Plant, Verified Technology, Plant Breed/Variety
RIV Subspecies	Ověřená technologie
Title	Příprava TFE W(100) ZrO katod
Title	TFE W(100) ZrO emitter preparation
Author(s)	Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Matějka, F. (CZ) Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Number of authors	8
Year of issue	2017
Int.Code	APL-2017-3
Technical parameters	Katody se připravují z W(100) monokrystalu. Standardní svítivost katody je 0,5 mA/sr. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší a vysokovakuovou aparaturu
Economic parameters	Ověřená technologie vznikla při řešení grantů. Ověřenou technologii využívá příjemce jednak při zajištění provozu aparatury elektronového litografu TESLA BS600 využívaného pro řešení řady projektů, a jednak v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz
Owner Name	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Registration Number of the result owner	68081731
Applied result category by the cost of its creation	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
Possible third party use of the result	A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	APL-2017-3
Licence fee	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	elektronová litografie ; katoda ; emitér ; termo auto emise ; W(100)
Subject RIV	JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
OECD category	Electrical and electronic engineering
R&D Projects	LO1212 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS)
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS)
	TE01020118 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
	TE01020233 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
	FR-TI1/576 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO)
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Annotation	Technologie pro přípravu TFE W(100) ZrO katod zahrnuje pět technologických operací: (a) dělení monokrystalu W(100), sestavení držáku, vlásenky a monokrystalu, (b) žíhání katody, (c) anodické leptání katody, (d) nanesení zirkonia, (e) aktivace katody, (f) zahoření katody. Každá technologická operace se skládá z řady technologických kroků.
Description in English	Technology for the TFE W(100) emitter preparation includes five technological operations: (a) single crystal partition, package, heating filament and single crystal arrangement, (b) emitter annealing (c) anodic etching of the emitter, (d) zirconium application, (e) emitter.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2018

Number of the records: 1