Number of the records: 1

Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

SYSNO ASEP	0449903
Document Type	P - Patent
R&D Document Type	Patent or other outcome protected by special legislation
Title	Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů
Title	Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges
Author(s)	Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Šmíd, Jiří (FZU-D) Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Kromka, Alexander (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Year of issue	2015
Possible third party use of the result	A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Royalty requested	A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
Patent no. or utility model no. or industrial design no.	305482
Date of the patent acceptance	09.09.2015
Name of the patent owner	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i
Code of the issuer name	CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
Current use	A - Pouze udělený (dosud nevyužívaný) patent nebo patent využívaný jeho vlastníkem
Language	cze - Czech
Keywords	plasma ; discharge ; surfatron ; thin films
Subject RIV	BL - Plasma and Gas Discharge Physics
R&D Projects	LH12045 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS)
	TA03010743 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
Institutional support	FZU-D - RVO:68378271
Annotation	Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů je určená zejména pro zabudování do vakuového depozičního systému pro depozice tenkých vrstev obsahujícího vakuovou komoru, v jejímž vnitřním prostoru je instalována plocha pro uložení substrátu a do něhož je zavedena alespoň jedna křemenná pracovní trubice, která je připojena na vnější zdroj pracovního plynu, která je zaústěna do blízkosti plochy pro uložení substrátu a která prochází vně vakuové komory tělem surfatronu, který je napojen na mikrovlnný generátor, vyznačující se tím, že každá pracovní trubice je do vakuové komory zavedena přes křemennou průchodku, která je opatřena křemenným nástavcem orientovaným do vnitřního prostoru vakuové komory, přičemž ve spodní části je pracovní trubice opatřena prstencovou elektrodou, která pracovní trubici obepíná a je elektricky vodivě spojena s vysokofrenvenčním generátorem.
Description in English	Hybrid plasma jet with surface wave for excitation of high reactive discharges is designed mainly for incorporation in a vacuum deposition system for thin films deposition comprising a vacuum chamber, in the interior of which is installed substrate holder and into which is introduced at least one quartz tube that is connected to an external source of the working gas, which is ended close to substrate holder and which extends outside the vacuum chamber through surfatron body, which is connected to a microwave generator. Each working tube is introduced into the vacuum chamber through a quartz bushing, which is provided with a quartz nozzle facing into interior of the vacuum chamber, the bottom of the tube is provided with an annular working electrode, which surrounds the working tube and is electrically connected with high-frequency generator.
Workplace	Institute of Physics
Contact	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Year of Publishing	2016
Electronic address	http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10113746

Number of the records: 1