Number of the records: 1
Polohovací systém s velkým dynamickým rozsahem řízený piezoelektrickým motorem
- 1.
SYSNO ASEP 0387397 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Polohovací systém s velkým dynamickým rozsahem řízený piezoelektrickým motorem Title Positioning system with high dynamic range driven by a piezoelectric motor Author(s) Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hucl, Václav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Konečný, P. (CZ)
Kůr, J. (CZ)Year of issue 2012 Int.Code UPT 2012/06 Technical parameters Funkční vzorek realizovaný v rámci řešení grantu: Umožňuje polohování stolku se vzorkem ve dvou osách s vysokým rozlišením a velkým dynamickým rozsahem. Rozsah polohování v obou osách je cca 6 mm s rozlišením 20 nm. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Je připravovaná smlouva s firmou MESING, spol. s r.o. (IČ: 25579835). Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Use by another entity A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence License fee fee N - Poskytovatel licence nepožaduje licenční poplatek Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., UPT 2012/06 Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords AFM ; positioning ; high dynamic range ; piezoelectric motor ; incremental sensors Subject RIV BH - Optics, Masers, Lasers R&D Projects FR-TI1/241 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Vyvinuté zařízení, jehož hlavní uplatnění je v mikroskopii atomárních sil (AFM), umožňuje ve 2 osách polohování stolku se vzorkem s vysokým rozlišením a velkým dynamickým rozsahem. Polohovací jednotka je založena na piezoelektrických lineárních motorech pohybujících s držákem vzorku ve 2 osách v pružných planžetových vedeních. Vysokého rozlišení a opakovatelnosti polohování je dosaženo díky řízení lineárních motorů v uzavřené regulační smyčce, kde jako zpětnovazební signál slouží údaj o délce měřené optickými inkrementálními snímači integrovanými v mechanice polohovací jednotky. Rozsah polohování v obou osách je cca 6 mm s rozlišením 20 nm. Zařízení je možno s nadřazeným počítačovým systémem propojit pomocí rozhraní RS-232 nebo USB. Description in English The main field of application of the developed device is in the atomic force microscopy (AFM). The unit is indended for 2-axis positioning of the sample holder with high dynamic range and very fine resolution. The positioning unit is built around piezoelectric linear motors moving with the sample holder in 2-axes flexible planchet guideways. The high resolution and repeatability of the positioning is achieved by servo-loop control of the linear motors. The length measured by incremental optical sensors integrated directly in the body of the unit is used as the feedback signal. The range of the positioning is approx. 6 mm with resolution of 20 nm. The device can be connected to a superior computer system via RS-232 or USB interface. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2013
Number of the records: 1