Number of the records: 1
Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev
- 1.
SYSNO ASEP 0383946 Document Type P1 - Utility model, Industrial Design R&D Document Type Results of legal proteciton (Utility Model , Industrial Design) RIV Subspecies Užitný vzor Title Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev Title Plasma system developed for deposition of perovskite thin films Author(s) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Dejneka, Alexandr (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Suchaneck, G. (DE)
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCIDYear of issue 2012 Name of the patent owner Fyzikální ústav AV ČR, v.v. i Adress Na Slovance 2, 182 21 Praha 8 Date of the utility model acceptance 21.05.2012 Utility model number 23845 Licence fee A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Current use A - Pouze udělený (dosud nevyužívaný) patent nebo patent využívaný jeho vlastníkem Use by another entity A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence Code of the issuer name CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague Language cze - Czech Keywords plasma ; magnetron sputtering ; plasma-jet ; PZT thin films Subject RIV BH - Optics, Masers, Lasers R&D Projects GC202/09/J017 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) TA01010517 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) GAP205/11/0386 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Annotation Technické řešení spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých perovskitových, a to dielektrických, piezoelektrických i ferroelektrických, vrstev s využitím plazmochemických reakcí a pulzním ohřevem substrátu. Týká se konstrukce systému zejména pro realizaci depozice tenkých nanokrystalických vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 (dále vrstev PZT) za nízké teploty na polymerový substrát nebo na polymerový substrát s kovovou elektrodou. Description in English The technical solution falls within the technological processes of deposition of thin perovskite, especially dielectric, piezoelectric and ferroelectric, films using plasma-chemical reactions and pulsed heating of the substrate. This applies especially for system design for implementation of deposition of thin films of nanocrystalline Pb (ZrxTi1-x)O3 (further PZT layers) at low temperature on the polymer substrate or on a polymer substrate with a metal electrode. Workplace Institute of Physics Contact Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Year of Publishing 2013 Electronic address http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0023/uv023845.pdf
Number of the records: 1