Number of the records: 1
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
- 1.
SYSNO ASEP 0371302 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01 Title Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01 Author(s) Šmíd, Jiří (FZU-D)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Lukašík, P. (CZ)
Piják, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)
Martinek, P. (CZ)
Pitrun, J. (CZ)
Rek, Š. (CZ)
Konečný, L. (CZ)
Mareš, G. (CZ)
Štepánek, J. (CZ)
Jakeš, J. (CZ)
Křenek, Z. (CZ)
Joštic, M. (CZ)Year of issue 2011 Int.Code PST1/FZÚ-SVCS/2011 SResult web page, Location of the result FZÚ AVČR, v. v. i. Technical parameters Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name 50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o. Registration Number of the result owner 68378271 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Use by another entity A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence License fee fee A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords microwave ; surfatron ; thin films ; plasma ; deposition ; plasma jet ; surface wave Subject RIV BL - Plasma and Gas Discharge Physics R&D Projects TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Annotation V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli hybridní a modulární plazmatický zdroj se systémem plazmatických kanálů generovaných povrchovou elektromagnetickou vlnou. Description in English Hybrid and modular plasma source with system of plasma jets generated by electromagnetic surface wave was developed in frame of grant TACR. Workplace Institute of Physics Contact Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Year of Publishing 2012
Number of the records: 1