| SYSNO ASEP | 0336643
|
|---|
| Document Type | L - Prototype, Functional Specimen
|
|---|
| R&D Document Type | Prototype, Functional Specimen
|
|---|
| RIV Subspecies | Functional Specimen
|
|---|
| Title | Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony
|
|---|
| Title | Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons
|
|---|
| Author(s) | Klein, Pavel (UPT-D)
|
|---|
| Year of issue | 2009
|
|---|
| Int.Code | 5511-2
|
|---|
| SResult web page, Location of the result | Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
|
|---|
| Technical parameters | Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
|
|---|
| Economic parameters | Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
|
|---|
| Owner Name | Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
|
|---|
| Registration Number of the result owner | 68081731
|
|---|
| Applied result category by the cost of its creation | A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
|
|---|
| Use by another entity | A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
|
|---|
| License fee fee | A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
|
|---|
| Language | cze - Czech
|
|---|
| Country | CZ - Czech Republic
|
|---|
| Keywords | UHV specimen stage ; surface analysis
|
|---|
| Subject RIV | JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
|
|---|
| CEZ | AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
|
|---|
| Annotation | Funkční vzor manipulátoru vzorku je určen pro ultravysokovakuový rastrovací mikroskop s pomalými elektrony, vybavený tzv. katodovou čočkou, která přivádí na preparát vysoký potenciál. Tím jsou dopadající elektrony brzděny na libovolně nízkou energii dopadu. Preparát je jednou z elektrod katodové čočky a proto musí být k dispozici extrémně přesné vyrovnání rovnoběžnosti aktivního povrchu vzorku s anodou katodové čočky pomocí dvou jemně ovladatelných, nezávislých náklonů vzorku v navzájem kolmých rovinách. Manipulátor umožňuje dosáhnout zobrazení vzorku při libovolně nízké energii elektronů s vysokým rozlišením.
|
|---|
| Description in English | The function sample of the specimen stage is intended for an ultrahigh vacuum scanning microscope with slow electrons, equipped with so called cathode lens biasing the specimen to a high potential. In this way the incident electrons are retarded to an arbitrarily low energy of impact. The specimen represents one electrode of the cathode lens so an extremely precise balancing of parallelism of its surface with respect to the anode of the cathode lens is necessary by means of two finely controllable, independent specimen tilts in mutually perpendicular planes is necessary. The specimen stage enables one to image the specimen at arbitrarily low energy of electrons at high resolution.
|
|---|
| Workplace | Institute of Scientific Instruments
|
|---|
| Contact | Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
|
|---|
| Year of Publishing | 2010
|
|---|
