Number of the records: 1
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů
- 1.Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Kšírová, Petra - Tvarog, Drahoslav
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů.
[Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films.]
Praha: IQ structures, 2018. 11 s.
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
http://hdl.handle.net/11104/0293030
Number of the records: 1