Number of the records: 1
Zařízení k řízení depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému
- 1.Olejníček, Jiří - Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Adámek, Petr - Čada, Martin - Kment, Štěpán
Zařízení k řízení depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému.
[Device to control deposition of thin layers in vacuum multijet plasma system.]
2016. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 15.11.2016. Utility model number: 30018
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0030/uv030018.pdf
http://hdl.handle.net/11104/0264578
Number of the records: 1