Number of the records: 1
Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem
- 1.Krátký, Stanislav - Urbánek, Michal - Chlumská, Jana - Matějka, Milan - Meluzín, Petr - Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav
Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem.
[Combination of electron lithography with Gaussian and shaped beams.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13. ISSN 0447-6441
http://hdl.handle.net/11104/0253409
Number of the records: 1