Number of the records: 1
Praktická elektronová litografie
- 1.Matějka, František
Praktická elektronová litografie.
[Practical E-Beam Lithography.]
Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013. 88 s. ISBN 978-80-87441-04-6
http://hdl.handle.net/11104/0229992
Number of the records: 1