Number of the records: 1
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev
- 1.Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kubart, T. - Adámek, Petr - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev.
[System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process.]
2013. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 16.09.2013. Utility model number: 25867
http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
http://hdl.handle.net/11104/0223966
Number of the records: 1