Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM

Láznička, Tomáš - Krutil, Vojtěch - Krzyžánek, Vladislav - Hrubanová, Kamila
Kryo-stolek a antikontaminátor pro FIB-SEM.
[Cryo-stage and anti-contaminator for FIB-SEM.]
Internal code: APL-2022-24 ; 2022
Technical parameters: Kryo-stolek umožňující uchycení komerčního držáku vzorku je k posuvnému mechanismu mikroskopu připevněn pomocí centrovacích kolíků a jednoho šroubu uprostřed stolku. Otvor pro hlavičku šroubu je průchozí skrz držák, takže není nutné rozebírat celý stolek. Část stolku, do které se upevňuje držák vzorku je připevněna ke spodní podložce pomocí čtyř sloupků Antikontaminační štít vzorku je připevněn ke spodní podložce dvěma podobnými, delšími sloupky. Antikontaminační štít může být pomocí chladovodu připojen zjednodušenou cestou buď k velkému antikontaminačnímu štítu ze zadní strany nebo přímo na palec (k držáku nebo chladovodu vedoucí od palce) chladící Dewarovy nádoby. Součástí systému je měřič teploty připojený k pravé části, z levé části je připojen ohřívač, kterým můžeme regulovat teplotu vzorku. Systém je schopen dosáhnout teoretické teploty 81 K. Posuvný mechanismus i se stolkem mikroskopu je schopný náklonu do 52°, který slouží pro náklon vzorku ve směru k iontovému svazku pro kolmé obrábění svazkem k povrchu vzorku.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Kamila Hrubanová, Ph.D., hrubanova@isibrno.cz.
OECD category: Electrical and electronic engineering
https://hdl.handle.net/11104/0337951