Number of the records: 1
Plazmová aparatura pro povlakování dutých komponent
- 1.Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Kšírová, Petra - Klinger, Miloslav
Plazmová aparatura pro povlakování dutých komponent.
[Plasmatic system for coatings of hollow substrates.]
Internal code: FVG1/FZU/2017 ; 2017
Technical parameters: Generace plazmatu: dutá katoda, druh výboje: RF/DC/DC-pulzní, výkon v plazmatu: max 150 W, průtok argonu: 50-250 sccm, pracovní tlak: 1-20 Pa. Délka povlakované trubky: max 200 mm.
Economic parameters: Plazmová depoziční aparatura byla vyvinuta v rámci projektu GAMA TAČR a bude nabídnuta průmyslovým partnerům jako technologie pro povlakování strojních komponent.
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
http://hdl.handle.net/11104/0280842
Number of the records: 1