Number of the records: 1
Measurements of plasma parameters during Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system
- 1.0324065 - FZÚ 2009 RIV CZ eng J - Journal Article
Olejníček, Jiří - Hubička, Zdeněk - Virostko, Petr - Deyneka, Alexander - Jastrabík, Lubomír - Adámek, P. - Šícha, M. - Tichý, M. - Šíchová, H.
Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system.
[Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody.]
Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 56, Suppl. B (2006), B1283-B1289. ISSN 0011-4626
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : BSTO thin films * hollow cathode sputtering * Langmuir probe * emission spectroscopy
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 0.568, year: 2006
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0005187
Number of the records: 1