Kontrast dopovaných oblastí v polovodiči zobrazený sekundárními elektrony v SEM

0050961 - ÚPT 2007 CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Mika, Filip - Frank, Luděk
Kontrast dopovaných oblastí v polovodiči zobrazený sekundárními elektrony v SEM.
[Dopant contrast imaged with SE in SEM.]
Mikroskopie 2006. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2006, s. 37.
[Mikroskopie 2006. Nové Město na Moravě (CZ), 16.02.2006-17.02.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : dopant contrast * SEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0140970