Number of the records: 1
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu
- 1.0424534 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu.
[Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems.]
Internal code: DPCS/FZÚ/2013 ; 2013
Technical parameters: Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
Economic parameters: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : pohyb substrátu * PC řízený
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230598
Number of the records: 1