Number of the records: 1
Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán
- 1.0482753 - ÚPT 2018 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Pikálek, Tomáš - Holzer, Jakub - Tinoco, H.A. - Buchta, Zdeněk - Lazar, Josef - Chlupová, Alice - Náhlík, Luboš - Sobota, Jaroslav - Fořt, Tomáš - Kruml, Tomáš
Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán.
[Interferometrical system for bulge test thin film characterization.]
Sborník příspěvků multioborové konference LASER57. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2017 - (Růžička, B.), s. 39-40. ISBN 978-80-87441-21-3.
[LASER57. Třešť (CZ), 08.11.2017-10.11.2017]
R&D Projects: GA MŠMT ED0017/01/01; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731 ; RVO:68081723
Keywords : interferometry * thin layers
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics); Optics (including laser optics and quantum optics) (UFM-A)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0278470
Number of the records: 1