Number of the records: 1  

SMV-2021-31: TELIGHT zaměřovací obrazec

  1. SYS0549960
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20220320214851.9
    017
      
    $2 DOI
    100
      
    $a 20210902d m y slo 03 ba
    101
      
    $a cze
    102
      
    $a CZ
    200
    1-
    $a SMV-2021-31: TELIGHT zaměřovací obrazec
    210
      
    $a Brno $c TELIGHT Brno, s.r.o. $d 2021
    215
      
    $a 8 s. $c P
    541
      
    $a SMV-2021-31: TELIGHT aiming pattern $z eng
    610
      
    $a e-beam lithography
    610
      
    $a optics
    610
      
    $a reactive ion etching
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.