Number of the records: 1
Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target
SYS 0518879 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103223321.8 014 $a 85079549910 $2 SCOPUS 014 $a 000505707300001 $2 WOS 017 $a 10.1088/1361-6595/ab54e8 $2 DOI 100 $a 20200106d m y slo 03 ba 101 $a eng 102 $a GB 200 1-
$a Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target 215 $a 13 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0254752 $1 011 $a 0963-0252 $e 1361-6595 $1 200 1 $a Plasma Sources Science & Technology $v Roč. 28, Nov (2019), s. 1-13 $1 210 $c Institute of Physics Publishing 610 $a magnetron sputtering 610 $a HiPIMS 610 $a bipolar pulse 610 $a time-resolved optical emission spectroscopy 610 $a ion mass spectrometry 700 -1
$3 cav_un_auth*0375512 $a Hippler $b Rainer $p FZU-D $i Fyzikální procesy v nízkoteplotním plazmatu $j Physical processes in low temperature plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0236882 $a Straňák $b Vítězslav $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 856 $9 RIV $u http://hdl.handle.net/11104/0303898
Number of the records: 1