Number of the records: 1
Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.
SYS 0512149 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103223050.1 017 $2 DOI 100 $a 20191202d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 102 $a JO 200 1-
$a Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer. 215 $a 1 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0512148 $1 200 1 $a Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts $1 210 $a Amman $c Jordan University of Science & Technology $d 2019 610 $a dielectric surface inspection 610 $a resist coated wafer 700 -1
$3 cav_un_auth*0299810 $a Knápek $b Alexandr $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0367755 $a Drozd $b Michal $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258661 $a Král $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1