Number of the records: 1  

Zařízení k řízení depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému

  1. SYS0466215
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103213034.3
    100
      
    $a 20161111d m y slo 03 ba
    101
      
    $a cze
    200
    1-
    $a Zařízení k řízení depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému
    210
      
    $d 2016
    541
      
    $a Device to control deposition of thin layers in vacuum multijet plasma system $z eng
    610
      
    $a plasma jet
    610
      
    $a thin films
    610
      
    $a hollow cathode
    610
      
    $a sputtering
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0098251 $a Olejníček $b Jiří $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0278316 $a Šmíd $b Jiří $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $y CZ $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0236881 $a Adámek $b Petr $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0234460 $a Kment $b Štěpán $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $y CZ $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    856
      
    $9 RIV $u https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0030/uv030018.pdf
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.