Number of the records: 1  

Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes

  1. SYS0464387
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103212824.8
    014
      
    $a 85017261626 $2 SCOPUS
    014
      
    $a 000410656100123 $2 WOS
    017
      
    $2 DOI
    100
      
    $a 20161027d m y slo 03 ba
    101
      
    $a eng $d eng
    102
      
    $a CZ
    200
    1-
    $a Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes
    215
      
    $a 6 s. $c P
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0485011 $1 010 $a 978-80-87294-71-0 $1 200 1 $a NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings $v S. 709-714 $1 210 $a Ostrava $c Tanger $d 2017
    610
      
    $a e-beam writer
    610
      
    $a silicon nitride membranes
    610
      
    $a nano patterning
    610
      
    $a anisotropic etching
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $z K $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0299342 $a Řiháček $b Tomáš $p UPT-D $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.