Number of the records: 1
Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes
SYS 0464387 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103212824.8 014 $a 85017261626 $2 SCOPUS 014 $a 000410656100123 $2 WOS 017 $2 DOI 100 $a 20161027d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes 215 $a 6 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0485011 $1 010 $a 978-80-87294-71-0 $1 200 1 $a NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings $v S. 709-714 $1 210 $a Ostrava $c Tanger $d 2017 610 $a e-beam writer 610 $a silicon nitride membranes 610 $a nano patterning 610 $a anisotropic etching 700 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $z K $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0299342 $a Řiháček $b Tomáš $p UPT-D $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1