Number of the records: 1
Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem
SYS 0452395 LBL 04170^^^^^2200373^^^450 005 20240103211423.8 100 $a 20160303d m y slo 03 ba 101 0-
$a cze $d cze 102 $a CZ 200 1-
$a Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem 215 $a 4 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0290003 $1 011 $a 0447-6441 $1 200 1 $a Jemná mechanika a optika $v Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13 $1 210 $c Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 541 1-
$a Combination of electron lithography with Gaussian and shaped beams $z eng 610 0-
$a e-beam writer 610 0-
$a Gausssian beam 610 0-
$a variable shaped beam 700 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0311793 $a Meluzín $b Petr $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1