Number of the records: 1
Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam
SYS 0437838 LBL 02752^^^^^2200409^^^450 005 20240103205353.7 014 $a 000350636300042 $2 WOS 100 $a 20141217d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam 215 $a 5 s. $c C 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0437837 $1 010 $a 978-80-87294-55-0 $1 200 1 $a NANOCON 2014. 6th International conference proceedings $1 210 $a Ostrava $c TANGER $d 2014 610 0-
$a e-beam writer 610 0-
$a Gaussian beam 610 0-
$a variable shaped beam 700 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0311793 $a Meluzín $b Petr $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1