Number of the records: 1
Praktická elektronová litografie
SYS 0423948 LBL 01515^^^^^2200325^^^450 005 20240103203750.1 010 $a 978-80-87441-04-6 100 $a 20140311d m y slo 03 ba 101 0-
$a cze $d cze 102 $a CZ 200 1-
$a Praktická elektronová litografie 210 $a Brno $c Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i $d 2013 215 $a 88 s. $c P $8 100 541 1-
$a Practical E-Beam Lithography $z eng 610 0-
$a e-beam lithography 610 0-
$a e-beam resist 610 0-
$a e-beam exposure 700 -1
$3 cav_un_auth*0101592 $a Matějka $b František $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1