Number of the records: 1
Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth
SYS 0351617 LBL 03034^^^^^2200409^^^450 005 20240103194336.1 100 $a 20101213d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a US 200 1-
$a Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth 215 $a 8 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0351601 $1 010 $a 9780819482624 $1 011 $a 0277-786x $1 200 1 $a Nanostructured Thin Films III $v 7766OU/1-7766OU/8 $1 210 $a Bellingham $c SPIE $d 2010 $1 225 $a Proceedings of SPIE $v 7766 $1 702 1 $a Martin-Palma $b R.J. $4 340 $1 702 1 $a Jen $b Y.-J. $4 340 $1 702 1 $a Lakhtakia $b A. $4 340 610 0-
$a aluminium ultra thin film 610 0-
$a magnetron sputtering 610 0-
$a in-situ monitoring 610 0-
$a electrical conductivity 610 0-
$a spectral ellipsometry 610 0-
$a optical emission spectroscopy 700 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100459 $a Pokorný $b Petr $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0266872 $a Bodnár $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0257816 $a Piksová $b K. $y CZ $4 070 856 $u http://dx.doi.org/10.1117/12.860555
Number of the records: 1