Number of the records: 1
Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm
SYS 0336589 LBL 02436^^^^^2200361^^^450 005 20240103192830.0 100 $a 20100305d m y slo 03 ba 101 0-
$a cze 102 $a CZ 200 1-
$a Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm 210 $d 2009 541 1-
$a E-Beam Writing Technology with Variable Beam Size of 66 - 2100 nm $z eng 610 0-
$a electron beam lithography 610 0-
$a shaped electron beam 700 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i S2: Speciální technologie $j S2: Special technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101592 $a Matějka $b František $i S2: Speciální technologie $j S2: Special technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i S2: Speciální technologie $j S2: Special technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101588 $a Lencová $b Bohumila $i S1: Elektronová optika a mikroskopie $j S1: Electron optics and microscopy $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i S2: Speciální technologie $j S2: Special technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258661 $a Král $b Stanislav $i S2: Speciální technologie $j S2: Special technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i S2: Speciální technologie $j S2: Special technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258664 $a Mikšík $b P. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0258665 $a Vašina $b J. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0258666 $a Horák $b R. $y CZ $4 070
Number of the records: 1