Number of the records: 1
Measurements of plasma parameters during Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system
SYS 0324065 LBL 03152^^^^^2200373^^^450 005 20230418192020.0 014 $a 000241337100005 $2 WOS 100 $a 20090518d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a CZ 200 1-
$a Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system 215 $a 7 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0256481 $1 011 $a 0011-4626 $1 200 1 $a Czechoslovak Journal of Physics $v Roč. 56, Suppl. B (2006), B1283-B1289 $1 210 $c Springer 541 1-
$a Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody $z cze 610 0-
$a BSTO thin films 610 0-
$a hollow cathode sputtering 610 0-
$a Langmuir probe 610 0-
$a emission spectroscopy 700 -1
$3 cav_un_auth*0098251 $a Olejníček $b Jiří $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0098250 $a Virostko $b Petr $p FZU-D $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0108363 $a Deyneka $b Alexander $p FZU-D $w Optical and Biophysical Systems $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0038434 $a Adámek $b P. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0036109 $a Šícha $b M. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0016302 $a Šíchová $b H. $y CZ $4 070
Number of the records: 1