Number of the records: 1  

Measurements of plasma parameters during Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system

  1. SYS0324065
    LBL
      
    03152^^^^^2200373^^^450
    005
      
    20200403125954.7
    014
      
    $a 000241337100005 $2 WOS
    100
      
    $a 20090518d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a CZ
    200
    1-
    $a Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system
    215
      
    $a 7 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0256481 $1 011 $a 0011-4626 $1 200 1 $a Czechoslovak Journal of Physics $v Roč. 56, Suppl. B (2006), B1283-B1289 $1 210 $a New York $c Springer Science $1 210 $c Business Media
    541
    1-
    $a Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody $z cze
    610
    0-
    $a BSTO thin films
    610
    0-
    $a hollow cathode sputtering
    610
    0-
    $a Langmuir probe
    610
    0-
    $a emission spectroscopy
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0098251 $a Olejníček $b Jiří $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0098250 $a Virostko $b Petr $p FZU-D $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0108363 $a Deyneka $b Alexander $p FZU-D $w Optical and Biophysical Systems $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0038434 $a Adámek $b P. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0036109 $a Šícha $b M. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0016302 $a Šíchová $b H. $y CZ $4 070
Number of the records: 1