Způsob řízení rychlosti depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému a zařízení k provádění tohoto způsobu

OLEJNÍČEK, Jiří, ŠMÍD, Jiří, HUBIČKA, Zdeněk, ADÁMEK, Petr, ČADA, Martin, KMENT, Štěpán. Způsob řízení rychlosti depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému a zařízení k provádění tohoto způsobu. Utility model or industrial design 306980. 13. 9. 2017. Available: https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10241583&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=