Number of the records: 1

Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě

SYSNO	0575340
Title	Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě
Title	Calibration standard with micro relief calibration structure recorded in a thin layer
Author(s)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Brunn, Ondřej (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Issue data	2024
Subspecies	Functional Specimen
Int.Code	APL-2024-01
Technical parameters	Křemíkový čip rozměru 10 mm x 10 mm obsahující motiv kalibračních vzorů (s mikronovým a submikronovým rozlišením) vytvořených v tenké vrstvě feromagnetického materiálu naneseného pomocí PVD techniky.
Economic parameters	Funkční vzorek vyvinutý během řešení projektu s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Milan Matějka, Ph.D., mmatejka@isibrno.cz
Owner Name	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Document Type	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	FW03010504 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR), CZ - Czech Republic
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Language	cze
Country	CZ
Keywords	Calibration sample for microscopy * ferromagnetic layers * electron lithography
Permanent Link	https://hdl.handle.net/11104/0345129

Number of the records: 1