Number of the records: 1
Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě
- 1.
SYSNO ASEP 0575340 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě Title Calibration standard with micro relief calibration structure recorded in a thin layer Author(s) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Brunn, Ondřej (UPT-D) RID, ORCID, SAIYear of issue 2024 Int.Code APL-2024-01 Technical parameters Křemíkový čip rozměru 10 mm x 10 mm obsahující motiv kalibračních vzorů (s mikronovým a submikronovým rozlišením) vytvořených v tenké vrstvě feromagnetického materiálu naneseného pomocí PVD techniky. Economic parameters Funkční vzorek vyvinutý během řešení projektu s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Milan Matějka, Ph.D., mmatejka@isibrno.cz Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč License fee fee A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords Calibration sample for microscopy ; ferromagnetic layers ; electron lithography Subject RIV BH - Optics, Masers, Lasers OECD category Optics (including laser optics and quantum optics) R&D Projects FW03010504 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Vzorek, obsahující sadu kalibračních obrazců a periodických mřížek. Design kalibračních struktur je připraven na základě funkčních potřeb pro metrologické a kalibrační operace. Při návrhu byl brán ohled také na možností litografických technik a dalších technologických operacích, které byly pro přípravu kalibračního preparátu vyvíjeny. Funkční vzorek má formu křemíkového čipu a obsahuje binární strukturu realizovanou v tenké vrstvě připravenou pomocí elektronové litografie a depoziční technikou (PVD). Součástí je dokumentace popisující design kalibračních struktur a obrazové podklady obsahující výstupy z měření vzorku na AFM, SEM a konfokálním mikroskopu. Description in English A sample containing a set of calibration patterns and periodic grids. The design of the calibration structures is based on the functional needs for metrology and calibration operations. The design also took into account the capabilities of lithographic techniques and other technological operations that were developed for the preparation of the calibration pattern. The functional sample is in the form of a silicon chip and contains a binary structure realized in a thin film prepared by electron beam lithography and deposition (PVD) techniques. Documentation describing the design of the calibration structures and images containing the output of the sample measurements on AFM, SEM and confocal microscope are included. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2024
Number of the records: 1