Number of the records: 1
SMV-2020-24: Vývoj testovacích preparátů pro REM
- 1.
SYSNO 0536030 Title SMV-2020-24: Vývoj testovacích preparátů pro REM Title SMV-2020-24: Development of test specimens for SEM Author(s) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAIIssue data Brno: Delong Instruments, a.s., 2020 Document Type Výzkumná zpráva Grant Non-public resources Language cze Country CZ Keywords relief structure: e-beam lithography * relief structure: silicon etching * silicon etching * microlithography Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0313879
Number of the records: 1