Number of the records: 1  

SMV-2020-24: Vývoj testovacích preparátů pro REM

  1. SYS0536030
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103224923.9
    017
      
    $2 DOI
    100
      
    $a 20201202d m y slo 03 ba
    101
      
    $a cze $d cze
    102
      
    $a CZ
    200
    1-
    $a SMV-2020-24: Vývoj testovacích preparátů pro REM
    210
      
    $a Brno $c Delong Instruments, a.s. $d 2020
    215
      
    $a 7 s. $c P
    541
      
    $a SMV-2020-24: Development of test specimens for SEM $z eng
    610
      
    $a relief structure: e-beam lithography
    610
      
    $a relief structure: silicon etching
    610
      
    $a silicon etching
    610
      
    $a microlithography
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0311793 $a Meluzín $b Petr $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258661 $a Král $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0299810 $a Knápek $b Alexandr $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.