Number of the records: 1
Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes
- 1.Matějka, M., Krátký, S., Řiháček, T., Knápek, A., Kolařík, V. Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes. Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis. 2020, 71(2), 127-130. ISSN 1335-3632. E-ISSN 1339-309X. Available: doi: 10.2478/jee-2020-0019.
Number of the records: 1