Number of the records: 1
Úprava držáku pro galvanické pokovování mikroelektromechanických systémů.
SYS 0499076 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103221240.5 100 $a 20190103d m y slo 03 ba 101 $a cze 102 $a CZ 200 1-
$a Úprava držáku pro galvanické pokovování mikroelektromechanických systémů. 210 $d 2018 541 $a Modification of holder for electroplating of microelectromechanical systems. $z eng 610 $a electroplating holder 610 $a electroplating of silicon wafers 700 -1
$3 cav_un_auth*0353830 $a Maňka $b Tadeáš $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $p UPT-D $w Microphotonics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101627 $a Šerý $b Mojmír $i D5: Mikrofotonika $j D5: Microphotonics $p UPT-D $w Microphotonics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1