0480747 - ÚPT 2018 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Král, Stanislav - Matějka, F. - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Kolařík, Vladimír
Příprava TFE W(100) ZrO katod.
[TFE W(100) ZrO emitter preparation.]
Internal code: APL-2017-3 ; 2017
Technical parameters: Katody se připravují z W(100) monokrystalu. Standardní svítivost katody je 0,5 mA/sr. Technologie vyžaduje čistou laboratoř s třídou čistoty 1000 nebo lepší a vysokovakuovou aparaturu
Economic parameters: Ověřená technologie vznikla při řešení grantů. Ověřenou technologii využívá příjemce jednak při zajištění provozu aparatury elektronového litografu TESLA BS600 využívaného pro řešení řady projektů, a jednak v rámci smluvního výzkumu. Kontakt: Ing. Miroslav Horáček, Ph.D., mih@isibrno.cz
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR(CZ) TE01020118; GA TA ČR TE01020233; GA MPO FR-TI1/576
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : elektronová litografie * katoda * emitér * termo auto emise * W(100)
OECD category: Electrical and electronic engineering

Technologie pro přípravu TFE W(100) ZrO katod zahrnuje pět technologických operací: (a) dělení monokrystalu W(100), sestavení držáku, vlásenky a monokrystalu, (b) žíhání katody, (c) anodické leptání katody, (d) nanesení zirkonia, (e) aktivace katody, (f) zahoření katody. Každá technologická operace se skládá z řady technologických kroků.

Technology for the TFE W(100) emitter preparation includes five technological operations: (a) single crystal partition, package, heating filament and single crystal arrangement, (b) emitter annealing (c) anodic etching of the emitter, (d) zirconium application, (e) emitter.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0276457