0468459 - ÚPT 2017 RIV CZ cze V - Research Report
Radlička, Tomáš - Oral, Martin - Rozbořil, Jakub
SMV-2016-20: Výpočty detekčních systémů rastrovacích elektronových mikroskopů.
[SMV-2016-20: Simulation of detection systems of scanning electron microscopes.]
Brno: FEI Czech Republic, s.r.o., 2016. 10 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : electron optics * electron microscopy * contrast optimization
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

V rámci smluvního výzkumu byly analyzovány detekční systémy několika rastrovacích elektronových mikroskopů z portfolia FEI Czech Republic, pro velké množství nastavení systému. Cílem bylo jednak zmapovat detekční mechanizmy, ale také nalézt optimální nastavení systému pro detekci zvolené části spektra signálních elektronů, tak aby se maximalizoval materiálový, nebo topografický kontrast.

The analysis of the detection system of scanning electron microscopes produced by FEI Czech Republic was done for many setting of the electron optical system. The main goal was to analyze the detection mechanisms and to find optimal system setting for detection of the given part of signal electron spectrum. It is used for maximization of the material or topographical contrast.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0266308