Number of the records: 1

SMV-2016-04: Výzkum a vývoj vysokonapěťového zdroje 100 kV

SYSNO ASEP	0468286
Document Type	V - Research Report
R&D Document Type	V - Research Report
Title	SMV-2016-04: Výzkum a vývoj vysokonapěťového zdroje 100 kV
Title	SMV-2016-04: Research and development of 100 kV high voltage power supply
Author(s)	Zobač, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID} Vlček, Ivan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Number of authors	2
Issue data	Brno: TESCAN Brno, s.r.o., 2016
Number of pages	10 s.
Publication form	Print - P
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	high voltage ; high tension ; power supply ; FEG ; TEM ; electron lithography
Subject RIV	JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Next source	Non-public resources
Annotation	Náplní je pokračování vývoje vysokonapěťového zdroje urychlovacího napětí s integrovaným nízkonapěťovým zdrojem napájení plovoucí části a výroba prototypu tohoto zdroje. Zdroj primárního napětí je určen pro aplikaci v litografii nebo pro TEM.
Description in English	The project deals with research and development of high voltage power supply for particle optics accelerator with integrated power supply for FEG. The supply is intended for electron lithography and for TEM.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2017

Number of the records: 1