Number of the records: 1
Způsob detekce interfernční fáze dvou interferujících laserových paprsků a zařízení pro provádění tohoto způsobu
- 1.
SYSNO ASEP 0423601 Document Type P - Patent R&D Document Type Patent or other outcome protected by special legislation Title Způsob detekce interfernční fáze dvou interferujících laserových paprsků a zařízení pro provádění tohoto způsobu Title Method and apparatus for detection of interference phase of two interfering laser beams Author(s) Řeřucha, Šimon (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Šarbort, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAINumber of authors 4 Year of issue 2013 Possible third party use of the result A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence Royalty requested A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Patent no. or utility model no. or industrial design no. 304138 Date of the patent acceptance 02.10.2013 Name of the patent owner Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i Code of the issuer name CZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague Current use A - Pouze udělený (dosud nevyužívaný) patent nebo patent využívaný jeho vlastníkem Language cze - Czech Keywords laser ; interferometry ; nanometrology ; optical metrology ; displacement ; inteference phase detection Subject RIV BH - Optics, Masers, Lasers R&D Projects FR-TI2/705 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO) Annotation Způsob detekce interferenční fáze dvou interferujících laserových paprsků využívá frekvenčně modulovatelného zdroje laserového záření a nově vyvinuté vyhodnocovací jednotky. Touto kombinací je možné určit interferenční fázi ze signálu, který je snímán pouze jednoduchým fotodetektorem, s přesností v řádu nanometrů, s možností snadno určit směr pohybu měřicího zrcadla a zároveň toto vyhodnocení provádět bez nutnosti použití dalších optických prvků či požadavků na zachování polarizace svazku. Výhodou nového způsobu jsou oproti stávajícímu stavu zmenšené nároky na mechanickou přesnost konstrukce vyhodnocovací jednotky, objem a cenu elektrooptických komponent a celkovou mechanickou robustnost výsledného měřicího systému. Zařízení obsahuje dvousvazkový laserový interferometr pro měření vzdáleností, zdroj laserového záření s frekvenčně modulovanou optickou frekvencí a fotodetektor, jehož vstup laserového světla leží na výstupu dvousvazkového laserového interferometru. Řídicí vstup zdroje laserového záření s frekvenčně modulovanou optickou frekvencí je spojen s prvním řídicím výstupem generátoru modulačního signálu a druhým vstupem vyhodnocovací jednotky, jejíž první vstup je spojen s výstupem fotodetektoru. Description in English The new method for the detection of the interference phase of two interfering laser beams uses a frequency modulated source of laser radiation and en extensive computations. This combination provides the way to determine the interference phase that is sampled solely by single photodetector with nanometre precision; it also deterministically indicates the direction of the movable measurement mirror and does not pose a requirement to use additional optical components or polarizing optics. The improvement lies in reduced demands on the precision of mechanical construcstion, its overall robustness and the costs and volume of the optical components used. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2014 Electronic address http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304138.pdf
Number of the records: 1