Number of the records: 1  

Ion current to a substrate in the pulsed dc hollow cathode plasma jet deposition system

  1. SYS0358552
    LBL
      
    02278^^^^^2200373^^^450
    005
      
    20240103195054.3
    014
      
    $a 000275435200020 $2 WOS
    017
      
    $a 10.1088/0022-3727/43/12/124019 $2 DOI
    100
      
    $a 20110325d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a GB
    200
    1-
    $a Ion current to a substrate in the pulsed dc hollow cathode plasma jet deposition system
    215
      
    $a 7 s.
    300
      
    $a 124019
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0257167 $1 011 $a 0022-3727 $e 1361-6463 $1 200 1 $a Journal of Physics D-Applied Physics $v Roč. 43, č. 12 (2010), s. 1-7 $1 210 $c Institute of Physics Publishing
    610
    0-
    $a plasma
    610
    0-
    $a pulsed DC
    610
    0-
    $a ion flux
    610
    0-
    $a hollow cathode
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0098250 $a Virostko $b Petr $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070
    856
      
    $u http://stacks.iop.org/JPhysD/43/124019
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.