Ionizační detektor environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

0322626 - ÚPT 2011 RIV CZ cze P - Patent Document
Neděla, Vilém - Jirák, Josef
Ionizační detektor environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu.
[The ionisation detector of the environmental scanning electron microscope.]
Praha: Úřad průmyslového vlastnictví, 2008. Owner: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Date of the patent registration: 04.10.2007. Date of the patent acceptance: 05.11.2008. Patent Number: 299864
R&D Projects: GA AV ČR KJB200650602
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : ISEDS * secondary electrons * VP SEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/299/299864.pdf

Základní filozofií ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS) je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při zachování vysokého podílu detekovaného signálu sekundárních elektronů s minimálním příspěvkem zpětně odražených elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem pozorovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou.

The basic philosophy of the ionisation detector of secondary electrons with electrostatic separator (ISEDS), is to optimize the physical principle of the detection of signal electrons in high pressure conditions of VP SEM in order to achieve a higher purity of the secondary electrons signal with a minimal contribution of backscattered electrons. Suitably situated electrostatic fields of separator of ISEDS, placed mainly above and around observed sample, efficientlv filter away the high energy BSEs and enable to detect low energy SEs with high selectivity.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0170824