Number of the records: 1
A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems
SYS 0309732 LBL 01649^^^^^2200301^^^450 005 20240103190207.1 017 $a 10.1002/ppap.200732320 $2 DOI 100 $a 20080714d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems 215 $a 5 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0420447 $1 011 $a 1612-8850 $e 1612-8869 $1 200 1 $a Plasma Processes and Polymers $v Roč. 4, - (2007), S1017-S1021 $1 210 $c Wiley 541 1-
$a Srovnání plazmatu v laserových a hybridních laser-magnetronových systémech pro přípravu SiC $z cze 610 0-
$a laser ablation 610 0-
$a magnetron sputtering 610 0-
$a optical emission spectroscopy 700 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100260 $a Jelínek $b Miroslav $p FZU-D $w Optical and Biophysical Systems $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1