- A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposi…
Number of the records: 1  

A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems

  1. SYS0309732
    LBL
      
    01649^^^^^2200301^^^450
    005
      
    20240103190207.1
    017
      
    $a 10.1002/ppap.200732320 $2 DOI
    100
      
    $a 20080714d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a DE
    200
    1-
    $a A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems
    215
      
    $a 5 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0420447 $1 011 $a 1612-8850 $e 1612-8869 $1 200 1 $a Plasma Processes and Polymers $v Roč. 4, - (2007), S1017-S1021 $1 210 $c Wiley
    541
    1-
    $a Srovnání plazmatu v laserových a hybridních laser-magnetronových systémech pro přípravu SiC $z cze
    610
    0-
    $a laser ablation
    610
    0-
    $a magnetron sputtering
    610
    0-
    $a optical emission spectroscopy
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100260 $a Jelínek $b Miroslav $p FZU-D $w Optical and Biophysical Systems $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.