Number of the records: 1
Obrazy ze sekundárních elektronů v rastrovacich elektronových mikroskopech
- 1.
SYSNO ASEP 0308565 Document Type J - Journal Article R&D Document Type Journal Article Subsidiary J Ostatní články Title Obrazy ze sekundárních elektronů v rastrovacich elektronových mikroskopech Title Micrographs of secondary electrons in the scanning electron microscopes Author(s) Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCIDSource Title Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 53, č. 2 (2008), s. 57-59Number of pages 3 s. Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords ET detector ; secondary electrons ; collection efficiency ; electrostatic and magnetic field Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering R&D Projects GA102/05/2327 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Annotation Článek se zabývá výpočty sběrové účinnosti Everhartova-Thornleyho detektorů v různých rastrovacích elektronových mikroskopech. Na třech detekčních systémech je ukázán vliv rozložení magnetického a elektrostatického pole v komoře mikroskopu na trajektorie sekundárních elektronů, které ovlivňují výsledný obrazový kontrast Description in English This article deals with the calculations of collection efficiency of the Everhart-Thornley detector in the different scanning electron microscopes. The effect of magnetic and electrostatic fields distribution in the chamber of microscope on the trajectories of the secondary electrons on the final image contrast is demonstrated for three detection systems. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2008
Number of the records: 1