Zpravodaj ČVS. - : Česká vakuová společnost
- ISSN 1213-2705
Roč. 15, 1/2 (2007), s. 32-40
Number of pages
9 s.
Action
Letní škola vakuové techniky
Event date
04.06.2007-07.06.2007
VEvent location
Štrbské pleso
Country
SK - Slovakia
Event type
CST
Language
cze - Czech
Country
CZ - Czech Republic
Keywords
secondary ion mass spectrometry
Subject RIV
BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
CEZ
AV0Z20670512 - URE-Y (2005-2011)
Annotation
Cílem práce je ukázat aplikační možnosti metody hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů - SIMS při analýze tenkých vrstev a povrchů.
Description in English
The aim of this work was to demonstrate the aplication potential of the Secondary Ion Mass Spectrometry – SIMS in the analysis of thin films and solid surfaces.