- Analýza tenkých vrstev metodou SIMS
Number of the records: 1  

Analýza tenkých vrstev metodou SIMS

  1. 1.
    SYSNO ASEP0306519
    Document TypeJ - Journal Article
    R&D Document TypeJournal Article
    Subsidiary JOstatní články
    TitleAnalýza tenkých vrstev metodou SIMS
    TitleAnalysis of thin films with SIMS
    Author(s) Lorinčík, Jan (URE-Y)
    Source TitleZpravodaj ČVS. - : Česká vakuová společnost - ISSN 1213-2705
    Roč. 15, 1/2 (2007), s. 32-40
    Number of pages9 s.
    ActionLetní škola vakuové techniky
    Event date04.06.2007-07.06.2007
    VEvent locationŠtrbské pleso
    CountrySK - Slovakia
    Event typeCST
    Languagecze - Czech
    CountryCZ - Czech Republic
    Keywordssecondary ion mass spectrometry
    Subject RIVBM - Solid Matter Physics ; Magnetism
    CEZAV0Z20670512 - URE-Y (2005-2011)
    AnnotationCílem práce je ukázat aplikační možnosti metody hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů - SIMS při analýze tenkých vrstev a povrchů.
    Description in EnglishThe aim of this work was to demonstrate the aplication potential of the Secondary Ion Mass Spectrometry – SIMS in the analysis of thin films and solid surfaces.
    WorkplaceInstitute of Radio Engineering and Electronics
    ContactPetr Vacek, vacek@ufe.cz, Tel.: 266 773 413, 266 773 438, 266 773 488
    Year of Publishing2008
Number of the records: 1  

Metadata are licenced under CC0

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.