0306519 - ÚFE 2008 RIV CZ cze J - Journal Article
Lorinčík, Jan
Analýza tenkých vrstev metodou SIMS.
[Analysis of thin films with SIMS.]
Zpravodaj ČVS. Roč. 15, 1/2 (2007), s. 32-40. ISSN 1213-2705.
[Letní škola vakuové techniky. Štrbské pleso, 04.06.2007-07.06.2007]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20670512
Keywords : secondary ion mass spectrometry
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

Cílem práce je ukázat aplikační možnosti metody hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů - SIMS při analýze tenkých vrstev a povrchů.

The aim of this work was to demonstrate the aplication potential of the Secondary Ion Mass Spectrometry – SIMS in the analysis of thin films and solid surfaces.

Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0159518